产品中心
Product Center
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PRODUCTS CENTER
适用场景：用DIW、酸液等药液清洗各种半导体生产制程用零部件、治具
设备特点：
1、支持EAP、FDC、MES等功能
2、PLC+触摸屏控制方式，可预设多条Recipe
3、槽体最大尺寸L 800mm X D 800mm X H 800mm，材质SUS316/PVDF/PP可选
4、喷淋、超声、加热、鼓泡、溢流、吹干等多种工艺可选
5、通过PID控制加热温度
6、具有安全模式，能及时有效的保障人员及设备安全
7、多任务并行处理，有效的提高产能
8、工艺窗口开放，各工艺时间可自由设定
9、设备外形尺寸：L 2500mm X W 1300mm X H 2200mm (双槽)
10、本体材质PP/FM4910认证PVC
设备特点：
1、支持EAP、FDC、MES等功能
2、PLC+触摸屏控制方式，可预设多条Recipe
3、槽体最大尺寸L 800mm X D 800mm X H 800mm，材质SUS316/PVDF/PP可选
4、喷淋、超声、加热、鼓泡、溢流、吹干等多种工艺可选
5、通过PID控制加热温度
6、具有安全模式，能及时有效的保障人员及设备安全
7、多任务并行处理，有效的提高产能
8、工艺窗口开放，各工艺时间可自由设定
9、设备外形尺寸：L 2500mm X W 1300mm X H 2200mm (双槽)
10、本体材质PP/FM4910认证PVC
适用场景：用于存储TC（石英细管）
设备特点：
1、分层设计，TC存储数量多
2、TC接触处有防磕碰保护
3、门上安装密码锁，安全有保障
设备特点：
1、分层设计，TC存储数量多
2、TC接触处有防磕碰保护
3、门上安装密码锁，安全有保障
石英管/石英舟存储柜（Quartz Tube/Boat Stocker）
适用场景：用于存储Parts、石英管/舟
设备特点：
1、具备FFU系统，提供Class 100以上洁净环境
2、具备照明功能
3、可根据客户需求定制旋转/非旋转形态
4、可根据客户需求定制不同储放数量
5、石英接触处有防磕碰保护
设备特点：
1、具备FFU系统，提供Class 100以上洁净环境
2、具备照明功能
3、可根据客户需求定制旋转/非旋转形态
4、可根据客户需求定制不同储放数量
5、石英接触处有防磕碰保护
适用场景：提供充满N2密闭空间，存储相关部件
设备特点：
1、N2流量、压力可调
2、可根据不同需求非标定制
3、承载能力强
设备特点：
1、N2流量、压力可调
2、可根据不同需求非标定制
3、承载能力强
适用场景：设备维护时相关工具、零部件摆放、移动
设备特点：
1、顶部有作业台面，底部有工具零部件存储柜；
2、推车顶部承重较大；
3、本体下部装有四只万向脚轮，带刹车，带减震；
4、主体采用优质不锈钢
设备特点：
1、顶部有作业台面，底部有工具零部件存储柜；
2、推车顶部承重较大；
3、本体下部装有四只万向脚轮，带刹车，带减震；
4、主体采用优质不锈钢
适用场景：用于存放Reticle并将信息上传
设备特点：
1、LED Display，显示操作成功与否，及每个Reticle的详细信息；
2、RFID Reader，判断存储位是否被占用并读取Reticle信息；
3、XCDA Purge，每个存放Reticle位置上部都配有XCDA Purge吹扫口，每个Reticle位置气体流量30NL/min（0.3MPa时），每层通过流量开关实现2~200L/Min流量调节并配手阀开关，可控制吹扫频率，配置XCDA低压报警装置。
4、E-Rack实时读取Reticle上的RFIDtag，将RFID资料通过网口传送到MES系统上进行统一管理，可实时查看E-Rack上Reticle存储情况
设备特点：
1、LED Display，显示操作成功与否，及每个Reticle的详细信息；
2、RFID Reader，判断存储位是否被占用并读取Reticle信息；
3、XCDA Purge，每个存放Reticle位置上部都配有XCDA Purge吹扫口，每个Reticle位置气体流量30NL/min（0.3MPa时），每层通过流量开关实现2~200L/Min流量调节并配手阀开关，可控制吹扫频率，配置XCDA低压报警装置。
4、E-Rack实时读取Reticle上的RFIDtag，将RFID资料通过网口传送到MES系统上进行统一管理，可实时查看E-Rack上Reticle存储情况
卧式石英管舟清洗机（ Horizontal Quartz Tube/Boat Cleaner）
适用场景：用DIW、酸液等药液清洗8寸/12寸等多种尺寸的石英石英舟/石英管
设备特点：
1、机械手臂负载：≤50Kg (机械手臂最大负载：50 kg)
2、清洗对象：
炉管最大尺寸：ø 510mm X L 1520mm
石英舟最大尺寸：ø 345mm X L 1385mm
3、清洗能力：石英管/石英舟 1只/次/腔室
4、设备构成：由卧式酸槽、卧式水槽、机械臂（吊钩）等主要机构组成
5、设备安全：排酸权限分级、排酸弹窗确认、门锁Interlock、EMO等
6、酸槽主要功能：自动补液（液位传感器控制）、自动槽盖、药液循环过滤、炉管滚动、独立取样口
7、工艺过程全自动处理、可预设多条Recipe，操作简洁
8、选配SECS/GEM接口
9、配置Leak Sensor
10、设备外形尺寸：L 2830mm X W 2540mm X H 3400mm
设备特点：
1、机械手臂负载：≤50Kg (机械手臂最大负载：50 kg)
2、清洗对象：
炉管最大尺寸：ø 510mm X L 1520mm
石英舟最大尺寸：ø 345mm X L 1385mm
3、清洗能力：石英管/石英舟 1只/次/腔室
4、设备构成：由卧式酸槽、卧式水槽、机械臂（吊钩）等主要机构组成
5、设备安全：排酸权限分级、排酸弹窗确认、门锁Interlock、EMO等
6、酸槽主要功能：自动补液（液位传感器控制）、自动槽盖、药液循环过滤、炉管滚动、独立取样口
7、工艺过程全自动处理、可预设多条Recipe，操作简洁
8、选配SECS/GEM接口
9、配置Leak Sensor
10、设备外形尺寸：L 2830mm X W 2540mm X H 3400mm
立式石英管舟清洗机（Vertical Quartz Tube/Boat Cleaner）
适用场景：用DIW、酸液等药液清洗8寸/12寸等多种尺寸的石英石英舟/石英管
设备特点：
1、清洗对象：
石英管及零部件（包括Boat、点火炮、热电偶等）
石英管（石英反应外管/夹层/进气管）最大尺寸：ø 510mm X L 1740mm
零部件最大尺寸：L 1200mm X W 550mm X H 350mm
2、清洗能力：石英管：1只/次/腔室 或 石英部件 ：1批/次/槽
3、设备构成：主要由炉管清洗腔（腔室由旋转平台、喷头）、卧式酸洗槽等机构组成
4、设备安全：排酸权限分级、排酸弹窗确认、门锁Interlock、EMO等
5、酸槽主要功能：自动补液（液位传感器控制、自动槽盖、药液循环过滤、独立取样口
6、工艺过程全自动处理、可预设多条Recipe,操作简洁
7、选配SECS/GEM接口
8、配置Leak Sensor
9、设备外形尺寸： L 2790mm X W 2220mm X H 2930mm
设备特点：
1、清洗对象：
石英管及零部件（包括Boat、点火炮、热电偶等）
石英管（石英反应外管/夹层/进气管）最大尺寸：ø 510mm X L 1740mm
零部件最大尺寸：L 1200mm X W 550mm X H 350mm
2、清洗能力：石英管：1只/次/腔室 或 石英部件 ：1批/次/槽
3、设备构成：主要由炉管清洗腔（腔室由旋转平台、喷头）、卧式酸洗槽等机构组成
4、设备安全：排酸权限分级、排酸弹窗确认、门锁Interlock、EMO等
5、酸槽主要功能：自动补液（液位传感器控制、自动槽盖、药液循环过滤、独立取样口
6、工艺过程全自动处理、可预设多条Recipe,操作简洁
7、选配SECS/GEM接口
8、配置Leak Sensor
9、设备外形尺寸： L 2790mm X W 2220mm X H 2930mm
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